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Naturwissenschaften
und Technik

Laser-Plasma-Hybridtechnologien

Laser-Plasma-Hybridtechnologie

Die Verschmelzung von Laser-, Plasma und Hybridtechnologie

Die Plasmatechnologie, die zunehmend als eine Schlüsseltechnologie u.a. für die moderne Oberflächenmodifikation betrachtet wird, ist durch ihre vielfältigen Verwendungsmöglichkeiten unter Atmosphärendruck für die Kombination mit anderen Technologien geeignet.

Besonders in der Kombination mit Laserverfahren können Materialen punktgenau und homogen modifiziert werden. Dabei können die Verfahren seriell oder simultan kombiniert werden. Die Laser-Plasma-Hybridtechnologie arbeitet auf einem übergreifenden, innovativen Feld, durch das zahlreiche neue Arbeitsgebiete erschlossen werden können:

Durch das interdisziplinäre Zusammenwirken der Plasmatechnologie und der Lasertechnologie mit der Biologie, Medizin, Chemie und Physik (insbesondere der Photonik) wird an wissenschaftlichem Neuland geforscht,  aus dem Produkte für die verschiedensten Anwendungsgebiete entwickelt werden können.

 

Ansprechpartner:

Prof. Dr. Stephan Wieneke

Verw.-Prof. Dr. Christoph Gerhard

Prof. Dr. Wolfgang Viöl

 

Wichtigste Publikationen:

J. Hoffmeister, S. Brückner, C. Gerhard, S. Wieneke, W. Viöl: Impact of the thermal lens effect in atmospheric pressure DBD-plasma columns on coaxially guided laser beams, Plasma Sources Science and Technology 23 (2014) 064008 (5pp)

D. Tasche, C. Gerhard, J. Ihlemann, S. Wieneke, W. Viöl: The impact of O/Si ratio and hydrogen content on ArF excimer laser ablation of fused silica, Journal of the European Optical Society - Rapid Publications 9 (2014) 14026 (4pp)

C. Gerhard, M. Dammann, S. Wieneke, W. Viöl: Sequential atmospheric pressure plasma-assisted laser ablation of photovoltaic cover glass for improved contour accuracy, Micromachines 5 (2014) 3, 408-419

A. Gredner, C. Gerhard, S. Wieneke, K. Schmidt, W. Viöl: Increase in generation of poly-crystalline silicon by atmospheric pressure plasma-assisted excimer laser annealing, Journal of Materials Science and Engineering B 3 (2013) 6, 346-351

C. Gerhard, S. Roux, F. Peters, S. Brückner, S. Wieneke, W. Viöl: Hybrid laser ablation of Al2O3 applying simultaneous argon plasma treatment at atmospheric pressure, Journal of Ceramic Science and Technology 4 (2013) 1, 19-24

C. Gerhard, J. Heine, S. Brückner, S. Wieneke W. Viöl: A hybrid laser-plasma ablation method for improved nanosecond laser machining of heavy flint glass, Lasers in Engineering 24 (2013) 5-6, 391-403

J. Hoffmeister, C. Gerhard, S. Brückner, J. Ihlemann, S. Wieneke, W. Viöl: Laser micro-structuring of fused silica subsequent to plasma-induced silicon suboxide generation and hydrogen implantation, Physics Procedia 39 (2012) 613-620

C. Gerhard, S. Roux, S. Brückner, S. Wieneke, W. Viöl: Atmospheric pressure argon plasma-assisted enhancement of laser ablation of aluminum, Applied Physics A 108 (2012) 1, 107-112

C. Gerhard, S. Roux, S. Brückner, S. Wieneke, W. Viöl: Low-temperature atmospheric pressure argon plasma treatment and hybrid laser-plasma ablation of barite crown and heavy flint glass, Applied Optics 51 (2012) 17, 3847-3852

S. Brückner, J. Hoffmeister, J. Ihlemann, C. Gerhard, S. Wieneke, W. Viöl: Hybrid laser-plasma micro-structuring of fused silica based on surface reduction by a low-temperature atmospheric pressure plasma, Journal of Laser Micro/Nanoengineering 7 (2012) 1, 73-76